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產(chǎn)品名稱:四甲基氫氧化銨溶液
英文名稱:Tetramethylammonium hydroxide
CAS編號:75-59-2
英文別名:N,N,N-TRIMETHYLMETHANAMINIUM HYDROXIDE;TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE;TMAH;hydroxydedetetramethylammonium;megapositcd14;Methanaminium,N,N,N-trimethyl-,hydroxide;n,n,n-trimethyl-methanaminiuhydroxide;nmd3
四甲基氫氧化銨溶液
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基本信息
分子式:
C4H13NO
分子量:
91.15
理化性質(zhì)
安全信息
產(chǎn)品用途和參考文獻
中文名稱:四甲基氫氧化銨
CAS號:75-59-2
中文別名:四甲基氫氧化銨水溶液;四甲基氫氧化銨甲醇溶液;四甲基氫氧胺 (顯影液);氫氧化四甲銨;四甲基氫氧化銨;四甲基氫氧化銨, 25% W/W AQ. SOLN., ELECTRONIC GRADE, 99.99;四甲基氫氧化銨, 25% W/W IN METHANOL;氫氧化四甲基胺,1.0M水溶液,ACS
英文名稱:Tetramethylammonium hydroxide
英文別名:N,N,N-TRIMETHYLMETHANAMINIUM HYDROXIDE;TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE;TMAH;hydroxydedetetramethylammonium;megapositcd14;Methanaminium,N,N,N-trimethyl-,hydroxide;n,n,n-trimethyl-methanaminiuhydroxide;nmd3
EINECS:200-882-9
分子式:C4H13NO
分子量:91.15

 

屬性

折光率 1.3806
沸點 100°C
密度 1.0050

描述

別名 四甲基氫氧化銨25%溶液 ;顯影液TMAH;
用途 在電子行業(yè)中,廣泛用作硅晶片蝕刻劑、清洗劑、正膠顯影劑等
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